母版与模具
微结构母版由高精度加工与计量共同定义，是整条链的精度源头。母版精度决定了器件的物理上限。
- EUV / 光刻级母版设计
- 金刚石刀具超精密加工
- 母版复制与寿命管理
制造能力
晶圆级光学制造链
FIG. 02 — WAFER-LEVEL OPTICS PROCESS FLOW
纳米压印平台
压印是把单点精度复制到整片晶圆的关键工序。压印压力、间隙与曝光能量的窗口控制，决定了批量一致性。
- UV 固化 / 热压印双模式
- 亚微米级对准精度
- 全片压力均匀性控制
薄膜镀制
镀层决定器件的透过率、反射率与耐候性。不同的耐候等级，从光模块的长期可靠性到汽车前装的严苛工况，对应完全不同的镀膜方案。
- PVD / CVD 多层膜
- 增透 / 反射 / 滤光膜系
- 汽车级耐候验证
光学计量与检测
从半导体计量体系转过来的检测能力，覆盖尺寸、形貌、光学性能三类指标，每片全检、数据留档可追溯。
- 白光干涉 / 激光干涉测高
- 显微成像尺寸量测
- 光学效率与面型评价
FIG. 03 — ARRAY ON WAFER
产线条件
近千平米百级无尘车间
自有研发与生产车间，避免依赖外部代工，排产与迭代节奏由我们自己掌握。
- ✓百级洁净区，覆盖压印、镀膜、曝光全流程
- ✓支持 4 / 6 / 8 英寸晶圆
- ✓研发与生产同厂，样件验证到量产无缝衔接
FIG. 06 — THICK-RESIST IMPRINT: RESIST LAYER THICKNESS
核心工艺
厚胶压印
同样的母版、同样的压印深度，转印出的结构是一样的——真正不同的是溢胶层。胶层压得越薄，溢胶层被压得越平，对准能力就一起丢失；厚胶压印把溢胶层完整保留下来，母版的结构一次成型，是微透镜阵列、棱镜与多层堆叠器件的成形手段。
- ✓厚胶保留完整溢胶层，支撑高深宽比三维结构
- ✓一次压印复制整片晶圆，单元间误差不累积
- ✓压力与保压时间窗口控制，决定批量一致性
行业通行做法
薄胶压印：越薄越好，能力随之丢失
- ✕胶层压到极薄，溢胶层能压多薄压多薄
- ✕结构精度无从保证，边缘溢胶被压平
- ✕丢失了对准能力
- ✕为满足 UV 固化而牺牲抗黄化能力，可靠性低
- ✕可作为刻蚀 hard mask，但远远不适合用于光学产品本身
拾斛科技的做法
厚胶压印：正好相反
- ✓以厚胶承载高深宽比结构，转印精度不被牺牲
- ✓唯一的难题：厚胶条件下转印精度更难保证
- ✓这正是拾斛科技的强项
< 0.1%
厚胶条件下的全片转印误差
FIG. 07 — AMBIENT-PRESSURE BONDING
核心工艺
常压键合
真空和大气下，上下两片晶圆之间都有间距，间距由中间的 spacer 决定，W1 都与 spacer 接触。差别有两处：谁给晶圆施力，以及 spacer 是固体还是胶体。真空中 spacer 是固体，压头给 W1 向下的力、吸盘给 W2 向上的力，两片被设备给的挤压力压在 spacer 上，间距取决于设备刚度与力控；而且受压状态下 W1 和 W2 会发生横向偏移，对准精度既无法保持也无法调整。常压下 spacer 是键合胶、呈胶体状态，W1 和 W2 各自被大气压压在自己的真空吸盘上，两片之间不存在挤压力，也就没有摩擦力，晶圆可以横向滑动，间距完全由设备设定的上下位置决定，AA 对准得以实现。
- ✓常压下 spacer 是键合胶，两片之间无挤压力、无摩擦力，晶圆可横向滑动
- ✓间距由设备位置直接设定，横向滑动后对准标记（AA）匹配才成立
- ✓支撑多层光学结构的晶圆级堆叠
设计能力
工艺与设计同步考虑
器件能不能做出来，设计阶段就要判断。我们不接受工艺上做不出来的设计。
结构设计
微透镜焦距、口径、阵列排布与占空比的联合优化。
光学仿真
成像质量、杂散光与效率的建模评估，出图即接近实测。
公差分析
把制造公差前置到设计阶段，评估良率敏感性。
知识产权
专利布局
围绕微透镜阵列结构、投影模组工艺与复眼照明结构形成了专利组合。
| 类型 | 技术主题 | 状态 |
|---|---|---|
| 发明专利 | 基于微透镜阵列的投影模块、制备工艺及投影系统 | 已授权 |
| 发明专利 | 显示装置以及显示方法 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种可变焦微透镜阵列投影装置 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种带定位结构的微透镜阵列、镜头模组和车灯装置 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种复眼透镜结构和含有该复眼透镜结构的照明灯 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种微透镜阵列结构及含有其的投影装置 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种新型车门投影灯 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种光学投影装置 | 已授权 |
| 实用新型 | 一种用于微透镜阵列的吸塑盘包装结构 | 已授权 |
注：以上为部分代表性专利，完整清单可通过商务咨询索取。